气体处理设备 HPS-04U

产品名称：气体处理设备

产品规格：HPS-04U

尺寸：650×800×1800

容量：400磅/分

重量：500公斤

插入物：NW50×4端口

出口：MF100×1端口

流干：耗用功率

类型：等离子体润湿

产品卖点：

分解率高优良的有害气体处理能力自动压力控制，

防止洗涤器内堵塞（PLC控制）安装方便，

维护成本经济防止二氧化碳产生（无需燃气）

产品应用：

半导体/LCD全流程适用气体：包括PFCs气体在内的所有工艺气体

产品详情：用于半导体和 LCD 行业的气体处理和净化。

应用场景：

热等离子体分解-热等离子体内有害气体完全分解喷射淬火/吸收-喷水副产物去除效果极佳自动耗电-废水顺利排放排气口- 最大限度地减少粉末、水和雾气的排放压力控制-精确测量设备内压力，通过PID压力控制防止粉末粘附自动控制系统-基于PLC的触摸屏显示器- 自动/手动操作，操作简单-发生错误时的错误显示和历史记录保存功能-PLC控制，响应速度快，精度高旁路功能-使用三通气动阀自动引导工艺气体。