气体处理设备 HPS-04R

产品名称：气体处理设备

产品规格：HPS-04R

尺寸：900×1000×1700

容量：400磅/分

重量：540公斤

插入物：NW50×4端口

出口：MF100×1端口

流干：耗用功率

类型：等离子体润湿

产品卖点：分解率高

优良的有害气体处理能力自动压力控制，防止洗涤器内堵塞（PLC控制）

安装方便，维护成本经济防止二氧化碳产生（无需燃气）产品应用：

用于半导体和 LCD 行业的气体处理和净化。适用气体所有工艺气体，包括 PFC 气体

产品详情：

一种使用热等离子体完全分解和处理半导体和 LCD 制造工艺中使用的有害 PFC 气体的系统。

Youngjin I&D的HI-PLASMA SCRUBBER不仅可以使用热等离子体彻底分解半导体/LCD工作现场产生的爆炸性、腐蚀性和有毒气体，还可以完全分解全球温室气体PFC类气体。

用途/用法：

半导体/LCD全流程适用气体：包括PFCs气体在内的所有工艺气体

应用场景：

热等离子体分解- 热等离子体内有害气体完全分解喷射淬火/吸收-喷水副产物去除效果极佳自动耗电-废水顺利排放排气口-最大限度地减少粉末、水和雾气的排放选项（配备刮刀）-下午周期延长压力控制- 精确测量设备内压力，通过PID压力控制防止粉末粘附自动控制系统-基于PLC的触摸屏显示器- 自动/手动操作，操作简单-发生错误时的错误显示和历史记录保存功能-PLC控制，响应速度快，精度高旁路功能-使用三通气动阀自动引导工艺气体。