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半导体设备后道工艺设备超纯水加热系统 (HOT DIW SYSTEM)快速加热 高精度控温
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超纯水加热系统 (HOT DIW SYSTEM)快速加热 高精度控温

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●产品应用:

用于半导体湿法清洗设备(Wet Batch / Spin Single)中的超纯水(DIW)漂洗环节,提供高温高纯度水以增强清洗效果。

产品特性:

快速加热:ΔT=55°C时,加热时间仅需1分40秒。

●高精度控温:温度控制精度±1°C(35-85°C范围内)。

●模块化设计:支持多型号(HDW-24L/36L/48L),流量覆盖24~48 L/min。

●可靠部件:采用卤素灯加热器(4kW/个),无金属接触污染风险。

产品规格:

●型号:HDW-24L、HDW-36L、HDW-48L。

流量 [Umin] AT=55°C:24、36、48。

加热功率 [kW]:96、144、192。

加热罐数量(个):4、6、8。

加热器数量(个):24、36、48。

加热器类型:卤素灯 [4kW/个]。

温度设置范围[℃]:25~85℃℃(仅当入口温度低于设置温度时)。

温度控制精度[℃]:±1℃(在恒定流量下,设定在35-85°C)。

最小使用流量 [L/min]:5、10。

加热时间:在AT=55℃时 1'40"内。

电流 [最大A]:295、442、589。

产品应用图:

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