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CVD、PVD、刻蚀设备耐高温备件TechRes® IP77（全氟弹性体部件）
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●应用领域：半导体与电子制造，场景：半导体蚀刻、沉积和清洗设备（如等离子体蚀刻机、CVD/PVD 设备）。 ●应用领域：石油与天然气，场景：油气开采中的酸性环境（含H₂S、CO₂）。 ●应用领域：汽车与航空航天，场景：新能源汽车电池组的酸性电解液防护。 |
产品特性： ●产品特点：极端耐化学性：可抵抗多种化学物质，包括 O₂ 等离子体，适用于高反应性气体环境。 ●高温稳定性：可承受高达330˚C的持续高温，适用于极端工况。 ●低压缩永久变形（Compression Set）：即使在高温环境下也能保持长期密封效果。 ●优异的机械性能：高抗拉强度、良好的弹性，使其适用于动态和静态密封。 ●高纯度：减少颗粒污染，适用于高洁净度要求的行业，如半导体、航空航天。 |
产品规格： ●颜色：黑色 ●100% 模量(Modulus, Mpa)：10.4。 ●抗拉强度(Tensile Strength,Mpa)：14.2。 ●断裂伸长率(Elongation at break,%)：138%。 ●硬度(Hardness, Shore A)：72。 ●压缩永久变形(Compression Set,70h @250°C)：30%。 ●最高持续使用温度(Max.Continuous Service Temperature,°C):330℃。 |
产品应用图（油气开采中的酸性环境）：
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