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半导体设备后道工艺设备自动调节设备腔体内的排气压力AUTO DAMPER 系统 (排气控制系统)
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自动调节设备腔体内的排气压力AUTO DAMPER 系统 (排气控制系统)

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产品应用:

●自动调节设备腔体内的排气压力,确保工艺稳定性。

产品特性:

智能控制:PID算法实时调节蝶阀,精度±5%。

多通道支持:4/8/12通道可选,适配不同规模设备。

耐腐蚀材料:PP/PVC材质,适用于化学环境。

产品规格:

●尺寸(mm):100mm、150mm、200mm。

材料(主体):PP波纹管或PVC、PVC。

材料(阻尼):HT-PVC。

材料(连接):PP波纹管或PVC、PVC。

●硬件(Connection Method):法兰类型或管端连接。

●硬件(压力控制范围):0~1.000Pa,0~500Pa。

●电机控制(控制结构): 电机、控制驱动、蝶阀。

●电机控制(全刻度控制精度):满量程5%。

●电机控制方法:PID控制。

●电机控制响应时间(90度):~ 1.2 Sec。

●信号通信:RS485(D-SUB-9P)。

●外部数据传输:pV,SV, 当前状态,完成。

●环境温度:0~60℃。

●功率(电压):24VDC。

●功率额定电流(最大):1.2A。

●断电功能:蝶阀最后位置记忆。

产品应用图:

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