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半导体设备其他辅助设备射频功率自适应调节ETCHER - 刻蚀机
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射频功率自适应调节ETCHER - 刻蚀机

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产品应用:

硅/介质层高深宽比刻蚀。

产品特性:

●射频功率自适应调节、腔体寿命>50万次。

产品规格:

●NEC RIE Dry Etching。

产品展示图:

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