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射频功率自适应调节ETCHER - 刻蚀机
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RIEDryEtching | 库存:5 | 订货编码:PT200004140008 | 在线询价 | -+ |
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产品应用: ●硅/介质层高深宽比刻蚀。 |
产品特性: ●射频功率自适应调节、腔体寿命>50万次。 |
产品规格: ●NEC RIE Dry Etching。 |
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