YAMATO DP61

介绍

YAMATO DP61 是一款高精度、高品质的晶圆处理设备，专门设计用于晶圆烘烤、光刻胶固化和低温退火过程。这款设备的工作环境为 Class 10 无尘室标准，确保在最纯净的条件下进行精密的生产步骤。作为产业级的先进设备，YAMATO DP61 能够满足半导体制造过程中高度复杂且严格的技术要求。

用途

1. 晶圆烘烤：该设备通过精确控制温度和环境条件来去除晶圆表面上的有机物和水分，以防止刻蚀层之间的渗漏或短路。

2. 光刻胶固化：利用适当的热处理实现光刻胶硬度变化，确保在进行光刻工艺时能够准确复制掩膜图案到晶圆表面。

3. 低温退火：通过在适当温度下的热处理，改善晶圆内层材料的晶粒结构，减少晶体缺陷，提高其电气性能。

技术特点

· 高精度温控：提供卓越的温度控制能力，保证均匀的温度分布。

· 高品质构造：采用高端材料和精密构造方法制造，确保长期稳定运作。

· Class 10 无尘室适用：符合半导体制造领域最严格的无尘规格要求，提供极致清洁环境，减少微粒污染。

· 自动化操作：集成先进的控制系统，支持全自动或半自动化操作流程，提高生产效率。

结论

YAMATO DP61 是半导体制造和微电子加工过程中至关重要的工具装备之一，它以其出色的技术性能和无与伦比的制造品质，确保了高精度与可靠性。对于追求最高质量标准的半导体制造企业而言，DP61 成为其不可多得的得力助手。